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现代洁净室技术将洁净室设计建造、洁净室测试与检测、洁净室运行分为三大范畴, 每一范畴内都包含自动化仪表控制与监测技术。净化工程是系统性很强的一项工程,它包括净化围护结构、净化空调系统。
洁净室的微差压的控制:
按工艺要求维持洁净室与周围空间的微小差压,可正压或负压。微差压可通过送风口,回风口或余压阀来控制。
压差控制在净化空调系统中是一个非常重要的环节。只有通过对净化区域的压差进行控制,保证合理的气流组织,才能达到净化和工艺的要求。例如洁净厂房保持的正压使外界未经净化的空气不会进人净化区域,保证洁净级别;并且通过对各净化区域的不同的压差控制,达到净化分区的作用,在GMP中就要求不同净 化级别区域的压差应得到控制不小于+5Pa。在生物洁净室中,压差控制更是保证屏障的关键手段,《生物安全实验室建筑技术规范》要求使实验室的负压梯度得到稳定可靠的控制。因此对于净化空调系统来说,压差控制是非常重要的。
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